بوتقة الجرافيت (مكون المحمل الأساسي لفرن السيليكون البلوري المفرد)

الوظيفة الأساسية
الدعم والثبات: يدعم بقوة بوتقة الكوارتز الداخلية لمنعها من التليين والتشوه عند درجات حرارة أعلى من 1410 درجة.
توصيل المجال الحراري: يمتص الحرارة التي يشعها سخان الجرافيت، ويسخن مادة السيليكون بشكل موحد من خلال طرق التوصيل والإشعاع، مما يحقق التحكم الدقيق في درجة الحرارة
الحماية من الذوبان: تعمل كطبقة عازلة بين ذوبان السيليكون وهيكل الفرن، مما يمنع التلوث بالشوائب ويضمن الأداء الكهربائي للسيليكون البلوري الأحادي
مواصفات التوافق: متوافقة مع مختلف أفران الكريستال الفردية-التي يتراوح حجمها من 8 إلى 16 بوصة، ومناسبة لتحميل 300-1200 كجم من مواد السيليكون

الميزات الأساسية
ثبات درجة الحرارة العالية للغاية: يتحمل درجات الحرارة العالية المستمرة التي تصل إلى 1600 درجة، ويمكنه تحمل درجات الحرارة القصوى التي تصل إلى 1800 درجة لفترة قصيرة. معامل التمدد الحراري أقل من أو يساوي 1.5×10⁻⁶/K
تحكم نقي للغاية: إجمالي محتوى الشوائب أقل من أو يساوي 50 جزء في المليون، ومحتوى العناصر المعدنية (Fe، Ni، Cu، إلخ) أقل من أو يساوي 1 جزء في المليون، مما يقلل من خطر تلوث رقائق السيليكون
مقاومة ممتازة للصدمات الحرارية: يمكنها تحمل 1000 درجة + دورات التبريد والتسخين السريعة، دون تشقق بعد أكثر من 1000 دورة، ولها عمر افتراضي يصل إلى 8-12 شهرًا
الموصلية الحرارية الموحدة: الموصلية الحرارية هي 200-400 واط/م ・ كلفن، مع انحراف متساوي الخواص أقل من أو يساوي 5%، مما يضمن توزيعًا موحدًا للحرارة في مجال الحرارة
تفاعل كيميائي منخفض: معدل التفاعل مع السيليكون المنصهر < 0.02 مم/ساعة، مما يقلل من فقدان المواد والتلوث الناتج عن ذوبان السيليكون.
تحسين إنتاجية العملية: تعمل المواد عالية النقاء- على زيادة عمر الناقل الأقل للسيليكون أحادي البلورية بنسبة 10-15%، مما يؤدي إلى زيادة إجمالية في الإنتاجية بنسبة 5-8%
تحسين التكلفة: يعمل إصدار طلاء SiC على إطالة عمر الخدمة بنسبة 50%، مما يقلل من تكرار عمليات الاستبدال وخسائر وقت التوقف عن العمل
التوافق متعدد الاستخدامات: يمكن تخصيصه إلى ثلاثة-أقسام أو بنية متكاملة، ومناسبة لتصميمات المجال الحراري للأفران أحادية البلورة ذات العلامات التجارية المختلفة