المواد والهياكل الرئيسية
1) بوتقة جرافيت ذات ضغط متساوي الضغط -عالية النقاء (مفضلة للأفران الفراغية)
ضغط منتظم ثلاثي الأبعاد، وبنية كثيفة، وتباين جيد، ومسامية منخفضة، وكثافة عالية، وشوائب منخفضة للغاية؛ يُستخدم في أشباه الموصلات، ونمو بلورات SiC، وذوبان المعادن عالية النقاء-.
2) بوتقة الجرافيت الكثيفة المشربة
تشريب الراتنج/قطران الفحم لسد المسام، وتحسين إحكام الهواء، وفعالية عالية من حيث التكلفة؛ تستخدم للمعالجة الحرارية الفراغية التقليدية وتلبيد السبائك الصلبة.
3) بوتقة الجرافيت المطلية بـ SiC/BN
طلاء كثيف من SiC/BN على الجدار الداخلي، مضاد-للأكسدة، مضاد-للالتصاق، مضاد-لتلوث الكربون، ومقاوم للتآكل السائل المعدني؛ يمكن الاتصال بالهواء لفترة وجيزة، وعمر خدمة أطول.
الميزة الأساسية
1. درجة نقاء عالية جدًا-، وإطلاق غازات منخفض جدًا (الفراغ هو المفتاح)
الكربون الثابت: 99.9% (3N) / 99.95% (4N) / 99.99% (5N)
محتوى الرماد: أقل من أو يساوي 50 جزء في المليون (4N)، أقل من أو يساوي 10 جزء في المليون (5N)؛ الشوائب المعدنية (Fe، Si، Al، إلخ) أقل من أو تساوي 5-10 جزء في المليون
-إطلاق الغازات في درجة حرارة عالية: إجمالي المواد المتطايرة أقل من أو يساوي 0.005% عند 1600 درجة، إطلاق الشوائب أقل من أو يساوي 5 جزء في المليون، لا يلوث المصهور/قطعة العمل، ولا يتلف درجة الفراغ
2. مقاومة درجات الحرارة العالية، الاستقرار الحراري القوي
فترة طويلة-في الفراغ/الجو الخامل: 2200 درجة؛ حد المدى القصير-: 2800 درجة
الهواء (بدون طلاء): أقل من أو يساوي 450 درجة؛ طلاء SiC: 1800 درجة -صالح للاستخدام على المدى القصير
معامل التمدد الحراري (25–1000 درجة): 1.8–2.2×10⁻⁶/درجة (منخفض للغاية)؛ تشوه الدورة الحرارية أقل من أو يساوي 0.01 مم/م، بدون تكسير، بدون تشوه
عملية الإنتاج
-مسحوق جرافيت عالي النقاء ← ضغط متساوي الضغط على البارد ← ارتفاع 2800–3000 درجة-جرافيت بدرجة حرارة ← التشريب والتكثيف (اختياري) ← معالجة CNC دقيقة ← طلاء SiC/BN (اختياري) ← التنظيف والتجفيف واكتشاف التسرب ← فحص الجودة (COA، SGS) ← التعبئة والتغليف
مجالات التطبيق الرئيسية
أشباه الموصلات / الخلايا الكهروضوئية: نمو بلورة مفردة من كربيد السيليكون، وذوبان مادة السيليكون، وتليين الرقاقات، وPECVD، وبوتقة المجال الحراري
تعدين الفراغ: التيتانيوم، التنغستن، الموليبدينوم، المعادن الثمينة، المعادن النادرة ذوبان / التقطير الفراغي
تعدين المساحيق: كربيد الأسمنت، بورون حديد النيوديميوم، تلبيد السيراميك بالفراغ
المعالجة الحرارية الفراغية:-سبائك ذات درجة حرارة عالية، وفولاذ خاص يتم تبريده بالفراغ/مختلط
اقتراحات الاختيار:
-فراغ عالي جدًا (10⁻⁵ إلى 10⁻⁶ Pa) + أشباه الموصلات / مواد عالية النقاء-← 5N عالية-بوتقة جرافيت متوازنة الضغط
أفران التفريغ التقليدية، التلبيد / الصهر → 4N متساوي الضغط / بوتقة الجرافيت المشربة (فعالية -عالية التكلفة)
عرضة للأكسدة، وتآكل المعدن السائل، ومضادة-للالتصاق → بوتقة جرافيت مطلية بـ SiC/BN
| غرض | درجة نقاء عالية-متوازنة | مشربة | المغلفة كربيد السيليكون | حالة |
|---|---|---|---|---|
| الكربون الثابت | أكبر من أو يساوي 99.95%/99.99% | أكبر من أو يساوي 99.9% | أكبر من أو يساوي 99.95% | ر.ت |
| الكثافة الظاهرية | 1.85-1.92 جم/سم3 | 1.75-1.85 جم/سم3 | 1.88-1.92 جم/سم3 | ر.ت |
| المسامية | أقل من أو يساوي 1.5% | أقل من أو يساوي 3% | أقل من أو يساوي 1.5% | ر.ت |
| درجة الحرارة المستمرة (الفراغ) | 2200 درجة | 2100 درجة | 2200 درجة | ع/ن₂ |
| مرض الاعتلال الدماغي المزمن (25-1000 درجة) | 1.8–2.2×10⁻⁶/ درجة | 2.0–2.5×10⁻⁶/ درجة | 1.9–2.3×10⁻⁶/ درجة | / درجة |
| الموصلية الحرارية | 150–180 W/(m·K) | 120–150 W/(m·K) | 140–170 W/(m·K) | ر.ت |
الوسم : بوتقات فرن الجرافيت الفراغي، الصين مصنعي بوتقات الجرافيت فرن الفراغ، الموردين، المصنع, أجزاء من الجرافيت الكربوني لأفران التفريغ, فرن تفريغ الهواء مع عناصر تسخين من الجرافيت, أجزاء من الجرافيت, بوتقات جرافيت فرن التفريغ, براغي جرافيت فرن التفريغ, أختام الجرافيت لأفران التفريغ
