I. بوتقة الجرافيت لفرن السحب البلوري المفرد (مستهلكات قلب تشيكوسلوفاكيا للسيليكون البلوري المفرد)
نقاط المعرفة الصناعية
الاستخدام: لعقد مادة السيليكون المنصهرة، وتوفير تجويف القالب لنمو قضبان السيليكون البلورية المفردة، ومناسبة للأفران البلورية المفردة كبيرة الحجم مقاس 12/14/16 - بوصة؛
تحديات مكان العمل: الغمر-على المدى الطويل في سائل السيليكون بدرجة حرارة 1420 درجة، ويكون الجرافيت العادي عرضة لتسرب السيليكون والتشقق وإدخال الشوائب مثل الرماد؛
معايير الصناعة الصارمة: يجب أن يكون محتوى الرماد أقل من أو يساوي 20 جزء في المليون؛ خلاف ذلك، قد يكون لقضبان السيليكون بقع سوداء أو تفشل في تلبية متطلبات معدل المقاومة.
المعلمات التقنية الأساسية
| عنصر الاختبار | المعلمة القياسية |
|---|---|
| المواد الخام | جرافيت فائق الدقة-متوازن الضغط |
| محتوى الرماد | أقل من أو يساوي 20 جزء في المليون |
| الكثافة الظاهرية | 1.88~1.93 جم/سم3 |
| دورة الخدمة | تشغيل الفرن 180~240 |
| مقاومة الصدمات الحرارية | لا يحدث أي صدع بعد 100 مرة من دورة التسخين-التبريد |
2.قارب الجرافيت لترسيب الفيلم PECVD (حامل ترسيب رقاقة السيليكون)
نقاط المعرفة الصناعية
1. الوظيفة: تحمل رقائق السيليكون 182/210 مم إلى غرفة الترسيب لإكمال طلاء النتريد لخلايا البطارية؛
2. اتجاه الصناعة: رقائق رفيعة كبيرة، تصميم بفتحة ضيقة، يمكن للقارب الواحد أن يحمل رقائق أكثر بنسبة 30٪ من ذي قبل، ومناسبة لخطوط الإنتاج الآلية؛
3. منطق الخسارة: تقصف البلازما السطح باستمرار، ويجب استبدال قارب الجرافيت بدون طلاء بعد 300 دورة؛ يتم زيادة عمر النموذج المطلي بـ SiC بمقدار مرتين.
المعلمات التقنية الأساسية
| عنصر الاختبار | المعلمة القياسية |
|---|---|
| متوافق مع الرقاقة | رقاقة سيليكون 182 ملم / 210 ملم |
| التسامح بالقطع | فجوة الفتحة ± 0.02 مم |
| خيار الطلاء | طبقة SiC مضادة-للبلازما |
| عمر خدمة واحد | 300 مرة (غير مطلي) / 700 مرة (مغلف بـ SiC) |
| المسامية المفتوحة | أقل من أو يساوي 0.15% |
3. عنصر تسخين الجرافيت (مكون التسخين الأساسي للفرن البلوري المفرد)
نقاط المعرفة الصناعية
1. الوظيفة: التسخين الإشعاعي في فرن التفريغ، الحفاظ على درجة حرارة ثابتة لذوبان السيليكون، تحديد ثبات قطر القضيب البلوري؛
2. متطلبات الأداء: يجب أن تكون المقاومة موحدة دون انحراف، يمكن أن يؤدي ارتفاع درجة الحرارة المحلية إلى كسر قضيب السيليكون أو يؤدي إلى عيوب شبكية؛
3. اتجاه الإزالة في الصناعة: يتم تدريجيًا استبدال عناصر تسخين الجرافيت ذات الحبيبات الخشنة-بعناصر التسخين الجرافيتية ذات الحبيبات الخشنة-الدقيقة- ذات الحبيبات المتوازنة للغايةالضغط على الجرافيت.
| عنصر الاختبار | المعلمة القياسية |
|---|---|
| درجة حرارة العمل | ماكس 1600 درجة مستمرة |
| انحراف المقاومة | أقل من أو يساوي 3% في الجزء الكامل |
| الموصلية الحرارية | أكبر من أو يساوي 140 واط/(م·ك) |
| مقاومة الأكسدة | مستقرة في ظل جو خامل فراغ |
| خدمة الحياة | 1200 دورة فرن |
رابعا. أسطوانة تحويل الجرافيت / الشاشة الحرارية (مكون تحويل العزل البلوري المفرد)
نقطة المعرفة الصناعية
الغرض: عزل المنطقة الباردة من جسم الفرن، وتوجيه تدفق غاز الأرجون، وتحقيق الاستقرار في تدرج المجال الحراري للقضيب البلوري، وتقليل عيوب الخلع؛
عملية الصناعة: هيكل مركب مزدوج الطبقات، مع طبقة داخلية عالية الكثافة - وطبقة خارجية عازلة منخفضة الكثافة - من الجرافيت؛
الأخطاء الشائعة: سيؤدي تشوه الشاشة الحرارية إلى تقلبات في سمك قضيب السيليكون، وانخفاض في كفاءة تحويل البطارية بنسبة 0.3% إلى 0.8%.
V. المغزل البلوري للبذور + قضيب سحب الجرافيت (مكون تعليق السحب البلوري)
نقطة المعرفة الصناعية
الغرض: الإمساك ببلورة البذرة وسحبها لتكوين-قضيب سيليكون كريستالي واحد. ويمكن أن يخضع لحركة ترددية طويلة الأمد- وظروف باردة وحرارة متناوبة.
منطق اختيار المواد: الجرافيت-ذو قوة انحناء فائقة. إنها ليست عرضة للكسر أثناء الرفع والسحب، وبالتالي تجنب إهدار الدفعة الكاملة من مواد السيليكون.
التحكم في الصناعة: يتم التحكم بشكل صارم في خطأ الوزن لكل قطعة لمنع مركز الثقل أثناء السحب من التحول.
سادسا. قالب الجرافيت متعدد البلورات (配套 لفرن السبائك DS)
نقاط المعرفة الصناعية
الاستخدام: يحتوي على سائل السيليكون للتبريد وتشكيل سبائك السيليكون متعدد البلورات. يُستخدم غالبًا في-رقائق السيليكون الكهروضوئية الموزعة منخفضة التكلفة؛
ظروف التشغيل التفاضلية: بالمقارنة مع أنظمة التسخين البلورية-المفردة، يركز قالب الجرافيت لصب السبائك بشكل أكبر على تحمل تآكل المساحة الكبيرة-بسبب سائل السيليكون؛
حالة السوق: انخفضت القدرة الإنتاجية للبوليكريستالات، ويتم تصدير المنتجات تدريجيًا إلى المصانع الكهروضوئية في الخارج وفي جنوب شرق آسيا.
سابعا. أجزاء الجرافيت المطلية بـ SiC (إصدار الترقية العالمي لجميع الفئات)
المعرفة الصناعية
مبدأ العملية: يتم ترسيب طبقة سيليكون متفحمة على سطح الجرافيت لعزل سائل السيليكون والبلازما والأكسجين -عالي الحرارة؛
قيمة الصناعة: يتم زيادة عمر الخدمة لجميع أجزاء الجرافيت الكهروضوئية بمقدار 1.8 إلى 2.5 مرة بعد الطلاء، مما يقلل من تكرار إيقاف تشغيل المعدات واستبدالها؛
نطاق التطبيق: يمكن تخصيص جميع قوارب الجرافيت والبوتقات وعناصر التسخين بالطلاء.
المعرفة التكميلية للصناعة العامة
الخط الأحمر للنقاء: يجب التحكم في محتوى الرماد في مكونات الجرافيت لرقائق السيليكون الضوئية في حدود 20 جزء في المليون. سوف تؤدي الشوائب المعدنية إلى إتلاف تقاطع PN للخلايا الكهروضوئية بشكل مباشر؛
منطق التكلفة: سيؤدي طلاء SiC إلى زيادة-تكلفة شراء القطعة الواحدة، ولكنه يقلل بشكل كبير من الخسارة الإجمالية لرقائق السيليكون بسبب توقف خط الإنتاج والخردة؛
اتجاهات سوق الاستعانة بمصادر خارجية: يؤدي إنشاء مصانع الخلايا الكهروضوئية الجديدة في جنوب شرق آسيا والشرق الأوسط إلى زيادة الطلب على أنظمة التدفئة الكاملة -عالية النقاء من الجرافيت وقوارب الجرافيت-الكبيرة الحجم عامًا بعد عام.
