تمتلك صناعة أشباه الموصلات المتطلبات الأكثر صرامة لنقاء الجرافيت بين جميع القطاعات الصناعية. أثناء المعالجة الحرارية للرقاقة، فإن أي ترسب شوائب سوف يسبب تلوث الرقاقة، مما يؤدي إلى نفايات هائلة من الرقاقة. بالنسبة لعمليات أشباه الموصلات المتقدمة، عادةً ما يكون محتوى رماد الجرافيت مطلوبًا أقل من 5 جزء في المليون. يعتبر الجرافيت المتوازن الحبيبي- هو المادة الخام الأساسية، وذلك بفضل البنية المجهرية الموحدة وانخفاض تساقط الجسيمات وقابلية التصنيع الممتازة.
تشتمل أجزاء الجرافيت المستخدمة على نطاق واسع في معدات أشباه الموصلات على مستقبلات الجرافيت، وسخانات الجرافيت، وأسطوانات التدريع الحراري، وتركيبات الجرافيت التي تحمل الرقاقة، وأنابيب توجيه الجرافيت، وحلقات منع التسرب من الجرافيت. تختلف ظروف العمل اختلافًا كبيرًا وفقًا لأنواع المعدات. في أفران سحب السيليكون أحادية البلورة، تواجه مكونات الجرافيت تآكل بخار السيليكون؛ في أفران نمو SiC PVT، يحتاج الجرافيت إلى تحمل درجة حرارة عالية جدًا-تتجاوز 2200 درجة؛ في أفران الفوقية والانتشار، تتلامس مكونات الجرافيت مع غاز عملية التآكل لفترة طويلة.
أصبح طلاء السطح تكوينًا قياسيًا للعديد من مكونات الجرافيت شبه الموصلة. يشكل طلاء الكربون الحراري وطلاء SiC طبقة واقية كثيفة على سطح الجرافيت، مما يمنع تساقط جزيئات الجرافيت ويمنع التفاعل بين الجرافيت وغاز المعالجة، مما يطيل عمر خدمة المكونات بشكل كبير. وفي الوقت نفسه، تثير معالجة الطلاء متطلبات أعلى على دقة تصنيع الركيزة الجرافيتية، وخشونة السطح، وتحمل الأبعاد.
يدفع اتجاه تطوير الرقاقات ذات الحجم الكبير- إلى ترقية حجم مكونات الجرافيت. نظرًا لأن الرقائق مقاس 300 مم أصبحت سائدة وتطور تكنولوجيا الرقائق مقاس 450 مم، فقد تم اعتماد مكونات المنطقة الساخنة الكبيرة المتجانسة من الجرافيت بشكل متزايد لتقليل فجوات التجميع وتحسين توحيد درجة الحرارة. يعد تصنيع قطع الجرافيت المتوازنة التوازن - ذات الحجم الكبير والخالية من العيوب وتحقيق التصنيع الدقيق من التحديات الفنية الرئيسية لمصنعي الجرافيت.
يوفر مصنع Huixian Jincheng Abrasive & Graphite Mould Factory خدمة تصنيع دقيقة لمكونات الجرافيت من درجة أشباه الموصلات. تأسست المؤسسة في عام 1984، وتقوم بمعالجة أجزاء الجرافيت النهائية استنادًا إلى فراغات الجرافيت المتوازنة التوازن -المستوردة عالية النقاء. من خلال تجهيزها بمعدات معالجة الجرافيت CNC عالية السرعة، تحقق شركة Jincheng Graphite تصنيعًا آليًا عالي الدقة- لتركيبات الجرافيت المعقدة والدروع الحرارية ومكونات الدعم للمعدات الحرارية لأشباه الموصلات. يمكن للمصنع أن يتعاون مع العملاء لإكمال -المعالجة المسبقة مثل التنظيف والتلميع قبل الطلاء. يتم تنفيذ قياس تنسيقي صارم وفحص المظهر لكل دفعة من المنتجات لضمان استقرار الأبعاد. على الرغم من أن شركة Jincheng Graphite تركز بشكل رئيسي على المعالجة الميكانيكية لمكونات الجرافيت، إلا أنها تحافظ على التواصل الفني مع موردي الطلاء لتقديم الأجزاء النهائية المؤهلة بالكامل لمصنعي معدات أشباه الموصلات.
يؤدي التوسع العالمي في سعة أشباه الموصلات إلى زيادة النمو المستمر للطلب على المواد الاستهلاكية عالية الأداء-من الجرافيت. يوفر توطين معدات أشباه الموصلات فرصًا هائلة في السوق لشركات معالجة الجرافيت المحلية. ستعمل شركة Jincheng Graphite بشكل مستمر على تحسين قدرة التصنيع الدقيق ونظام مراقبة الجودة، لدعم بناء سلسلة التوريد لأجزاء الجرافيت للمعدات الحرارية لأشباه الموصلات.
